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1995-11-18 ArtNo.3969
◆＜星＞Ｓｏｘａｌ、Ｓ＄３千万投じウエハー工場向けガス製造
【シンガポール】産業用ガスの製造販売会社シンガポール・オクシジェン・エア・リキッド(SOXAL)は16日、3000万Ｓドルを投じジュロンもしくはトゥアスにウエハー製造業界向け特殊ガスの製造工場を設けると発表した。
ＳＯＸＡＬは現在、ウエハーに焼き付けた集積回路を定着させるためのこの種のガスを欧州から輸入、テク・セミコンダクターやチャータード・セミコンダクター・マニュファクチャリングなどに供給している。輸入量は10～50キログラム入りボンベで月間200～300本と言う。新工場の中心となる生産棟には超高純度ガスを取り扱うクリーンルームが設けられる。同工場が97年に完成後は原料のみを輸入すると言う。(ST,BT:11/17)
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